株式会社エスイーエス研究所
最終更新日：2009-12-13 22:31:25.0
DS-16hs
基本情報DS-16hs
DS-16hs
空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計。
固体例：粘着テープ
液晶ガラス
セラミックス
箔
半導体ウエハ
ディスク
膜厚形成体
ペースト膜
シリコンゴム・ラバー等の有機弾性体
フィルム各種
非接触超精密エアサーボ測長器
エア膜を介す非接触測定でワーク損傷が無い。
スケール分解能２０ｎｍ。
高再現性±２σ＝±０．２μｍ。
測定物の材質を問わない。
環境性が高く高温多湿であっても測定可能。
測定範囲は１０ミリ。可動範囲は１６ミリ。
粗い面でもφ0.5ミリポットで平均化測定。 （詳細を見る）
取扱会社 DS-16hs
エアサーボ技術による ■非接触精密エアサーボ測長器 (商品名：エアスキャナ) ■精密エア位置決め装置 (商品名：エアステッパ)の応用開発・製造・販売 一般企業への技術支援・試作研究開発受託
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