バレルタイプ減圧プラズマ処理装置　ＰＢシリーズ　（真空プラズマ装置）

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ）
■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能）
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。

プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった
分野を問わず活用できるプラズマ装置。

剥離、有機物除去、表面改質・洗浄など幅広い分野に活用できる技術を
用途例と合わせて解説しています。

【応用例の概要】
■フッ素系樹脂への親水化処理
■プリント基板のデスミア処理
■金属ナノインクへの低温プラズマ焼結
■粉体の表面改質処理
■人工骨への生体親和処理

※下記「ダウンロード」より、すぐにご覧頂けます。お問合せもお気軽に！ （詳細を見る）

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ）
■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能）
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

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