ニッタン技報34号

ニッタン技報34号

μサイズの気孔径を有する多孔質セラミックス真空チャックです。

●多孔質セラミックス真空チャックの特徴
　・μサイズの気孔径を有しているため、フィルムなどの薄物を変形なく均一に固定吸着が可能。
　・通常のセラミックスに近い面粗さ（Ra）0.4μm可能。
　・従来の多孔体と比較し、高い曲げ強度（100MPa以上）が可能。
　・多孔体全面に吸着物が無くても吸着が可能で一つの真空チャックで様々なワークサイズに対応できます。
　・平面平行度5μm以内が可能であり、装置の高精度化が実現致します。

●導入前にご確認頂けるように下記のサービスをご用意しております。
　・「ニッタン技報34号」“多孔質セラミックス真空チャックのご紹介”技術資料
　・デモ機貸し出し。吸着力や面粗さを評価頂けるようにデモ機を準備しております。
　・技術者による貴社でのプレゼンテーションの実施いたします。

詳細は当社ＨＰ製品ページをご覧下さい。
http://www.nittan.co.jp/