株式会社ウイング
最終更新日：2010-01-06 13:10:32.0
ローディングシステム EFEM
基本情報ローディングシステム EFEM
ローディングシステム EFEM
300mmウェハ用に開発された
ローディングシステム
【特徴】
○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等
様々な装置とのドッキングが可能
○BBS（Building Block System）の採用で
用途に応じてオプションを付加することにより
予算に合わせた効率的なシステム構成が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ローディングシステム EFEM
300mmウェハ用に開発された
ローディングシステム
【特徴】
○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等
様々な装置とのドッキングが可能
○BBS（Building Block System）の採用で
用途に応じてオプションを付加することにより
予算に合わせた効率的なシステム構成が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
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