ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場
最終更新日：2014-12-08 14:12:15.0
アライメントステージ導入ハンドブック
基本情報アライメントステージ導入ハンドブック
初めてアライメントステージを導入しようとお考えの方に、［システム構成］について理解頂くための小冊子となっております。
アライメントステージを初めてご検討している方に向けた構成となっております。
アライメント動作の概要～使用用途例、システム構成等、１５ページにわたってご紹介しています。
ご検討されている方や、ご興味のある方は、この機会に是非ハンドブックをご請求ください。
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。
【特長】
○超薄型構造・低重心
⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制
○高精度な位置決め
⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無
○高剛性
⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に
対し剛性が高い構造です。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
XＹθステージ NAF3シリーズ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。 （詳細を見る）
取扱会社 アライメントステージ導入ハンドブック
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