【加工実績付き】東邦化研株式会社カタログ

イオンプレーティング法とは、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、基板にマイナスの電荷を印加して蒸発粒子を引き付けて堆積させ膜を作成します。これにより蒸着法に比べより密着性の強い膜を作ることが出来ます。

【イオンプレーティングの特長】
■密着力は真空蒸着より強い
■低温でも密着が得られる（極一部の膜種除く）
■成膜条件の多様性が得られる
■反応膜が可能
■影への膜の付きまわりは真空蒸着より良い
■合金膜が可能

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

単にパターニング加工といっても色々あります。
半導体（LSI，センサー等）などで用いられる極微細なパターン（ナノレベルのもの）から、数百ミクロンレベルのガラス基板などに引き廻す配線、センチレベルの特定部位のみ薄膜施工するものまで、必要な部位にのみ薄膜を施工することで、求める機能を発現させることが可能となります。
東邦化研では、Metal Maskや施工後のエッチング等によりお客様の求める特定部位への薄膜施工を行っております。お求めの薄膜の種類や施工する基材の種類、パターニング形状や施工部位形状等によりMaskingする手法をご提案させていただいております。一度ご相談ください。なおご相談の際は、具体的な寸法や図面などがあると、よりスムーズにお話ができるかと思います。また、これからお考えになるような場合でもお気軽にご相談いただければと思います。 （詳細を見る）

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。

金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。

小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします！

ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエチレン、PET、COPなど・・・
樹脂フィルムのような耐熱温度の低い基材への成膜もお気軽にご相談ください！
膜種や厚みにもよりますが、100℃以下で成膜ができます！

また、樹脂フィルムの他、樹脂成形品への成膜も可能です★ （詳細を見る）

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。

金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。

小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします！

大型装置では、最大で800mm×1000mmの平面エリアに成膜できます。
また、インライン方式の装置のため、一日である程度まとまった数量を成膜できます。

大型装置だからといって大きな基材しか搭載できないわけではありません。

小さな基材をたくさん搭載して成膜することも可能ですので、量産コストでもメリットがあります！

お気軽にご相談ください★
 （詳細を見る）

一般的にナノレベルの成膜を行うことが多い薄膜ですが、弊社では厚膜のご依頼も多くございます。

1ミクロンから数ミクロン、ご案件によっては10ミクロン以上のご相談もいただきます。

もちろん、どのような基材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★（もちろん薄い膜も得意です）

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。

金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。

小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします！
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東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。

金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。

例えば、ガラス板やフィルムといった平板形状のものだけでなく、セラミック加工品や金属材等の立体形状の製品への成膜も可能です！

装置の中で回転させながら成膜することで、ご指定の部位へ成膜が行えます。
また、保持方法等の工夫により段差部や溝・穴の内部への成膜が可能な場合もあります。

φ1ｍｍ以下の 小さなもの から、φ500ｍｍ×L500ｍｍの立体物、800ｍｍ×1000ｍｍの平板など、サイズや形状に柔軟に対応可能です。

保持（固定）が難しそうでも、当社には35年以上の豊富な経験とノウハウがありますので、まずはお気軽にご相談ください★ （詳細を見る）