株式会社エイエルエステクノロジー
最終更新日：2015-07-15 13:26:28.0
研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
基本情報研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
研究用真空装置の製造販売、真空装置の改造などを行っている株式会社エイエルエステクノロジーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
研究用小型真空蒸着装置は、GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な
『研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております
GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で
水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
【特徴】
[研究用小型真空蒸着装置]
○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能
[不活性ガス循環精製式GBOX]
○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計
○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能 （詳細を見る）
取扱会社 研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
■研究用真空装置の製造販売 ・有機EL研究用蒸着装置 ・昇華精製装置 ・キャリアボックス ・試験用チャンバー ・スパッタリング装置 ・UHV排気装置 ・特注真空装置 ・特注真空応用部品 ・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売 ・ULVAC社の扱う真空部品などの販売 ・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計 等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売 （東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務 ・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス） 蒸着ボートの販売
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