ディスクチッピング検査装置　DSiS-2015

ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。
合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することが可能。
・スループット　～800PPH（検査条件による）
・フットプリント
　　本体：
　　(W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm
　　(W) 1810:カセット受渡部を含む
　　ＰＣラック：
　　(W) 570 × (D) 630 × (H) 1850 mm
・クリーン度　クラス10（＠0.1μm）
・自動搬送システムに対応

検査仕様
・対応ディスク　１．８９”，２．５”，３．５”
・検査領域　内周端面を除く全域（または指定領域）
・センサ素子サイズ　７ｕｍ
・ピクセル分解能　検査領域（レンズ倍率に依存）
・レンズ倍率　１ｘ～３ｘ（検査内容に合わせて設計）
・設計事例　 ２．５”ディスク、８００ＰＰＨ
　検査領域
　内周　：　Ｒ１０．０ ～ Ｒ１５．０（２ｘ）
　外周　：　Ｒ３１．０ ～ Ｒ３２．５（３ｘ） （詳細を見る）