株式会社昭和真空
最終更新日：2022-05-26 16:58:52.0
【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR
基本情報【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR
LED 光学多層DBR 膜形成用真空蒸着装置
Al膜を使ってLEDの発光効率を高める方法には、限界があります。
さらに、Al膜は、LEDに悪さをすることがあります。
熱変形による応力で、製品劣化の原因になることも。
そこで、DBR(誘電体多層膜ミラー)膜の出番。
熱変形による劣化が少なくて済み、
Al膜よりもLEDの発光効率を無理なく高めることができます。
Sapio DBRは、そんなLED の発光効率を
高めるDBR膜の成膜に最適な装置です。
1バッチあたりのΦ2インチウエハーの処理数は400枚、
Φ4インチウエハーの処理数は110枚。
高い量産性能を持っております。
また、膜厚の再現性にも優れており、
膜厚分布±1.5%以内の実績がございます。
条件によってはバッチ間の保証も可能です。
その他、気になる点がございましたら、
お気軽にお問い合わせくださいませ。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR
Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。
LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。
【特徴】
○優れた量産性能
→基板搭載数：φ2inchウェハー約400枚/batch
φ4inch ウェハー約110枚/batch
→タクト：3h/batch 以内
→必要設置エリア：W4.6m×D6.3m×H3.2m
※SGC-S1550i 使用時
※水晶式膜厚計の脱着の際には
工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある
○優れた再現性 連続batch保証も対応
○膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための
条件補正も協力できる
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR
【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの 総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、 ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、 脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、 IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他
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