変色材料『プラズマインジケータ　PLAZMARK』3.1J

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。

★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。
※簡単なアンケートにご協力ください。（下部の基本情報をご確認ください。）

【こんな状況ではありませんか？】
様々な分野で利用が進む中で・・・
・処理効果はできていますか？
・レシピ開発はスムーズですか？
・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？
・工程管理に困っていませんか？

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

【こんな状況ではありませんか？】
様々な分野で利用が進む中で・・・
・処理効果はきちんと確認できていますか？
・レシピ開発はスムーズですか？
・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？
・工程管理に困っていませんか？
・お客様からプラズマ処理品質のエビデンスを求められていませんか？

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。

★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
今回、ご要望の多かった、PLAZMARK「耐熱性」の新規ラインナップとして、変色性能の高感度タイプ（型番：No.101）を発売しました。

★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。
※簡単なアンケートにご協力ください。（下部の基本情報をご確認ください。）

【特長】
・高い変色感度を実現。
・現行品の特長はそのまま踏襲。

【こんな状況ではありませんか？】
様々な分野で利用が進む中で・・・
・処理効果はできていますか？
・レシピ開発はスムーズですか？
・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？
・工程管理に困っていませんか？

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『PLAZMARK』は、プラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果確認用インジケータです。
プラズマ処理強度に応じて徐々に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。

従来の検査方法では、「プローブ法」「段差計」「接触角計」「濡れ試薬」など
測定技術や専門知識が必要だったり、時間がかかっていたり、面倒だったり、作業者によって結果がばらついていました… PLAZMARKであればだれでも簡単に評価できます！

【こんな状況はありませんか？】
様々な分野で利用が進む中で
・処理効果の確認に手間がかかる…
・レシピ開発がスムーズにいかない…
・プラズマ処理の均一性が気になる…
・装置メンテナンス後の調整に手間がかかる…
・工程管理に困っている…
・お客様からプラズマ工程管理のエビデンスを求められている…

★手頃なコストで導入できます。サンプル無料進呈中です！
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

プラズマインジケータTM（商品名：PLAZMARK）は、プラズマ処理効果を簡単に可視化できる評価ツールとして、一昨年発売以来、おかげさまでご好評を頂いております。商品ラインナップも、プロセスや使用環境に応じて「O2(酸素)クリーニング用」、「耐熱性」、「Ar(アルゴン)クリーニング用」、「大気圧プラズマ用」と、順次拡大して参りました。
今回、ご要望の多かった、PLAZMARK「耐熱性」の新規ラインナップとして、変色性能の高感度タイプ（型番：No.101）を発売いたします。

【特長】
■高い変色感度を実現。
■現行品の特長はそのまま踏襲。

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。
プラズマガス種は、酸素、窒素、アルゴン、四フッ化炭素（CF4）、水素、塩素、アンモニアなどです。

★下記に分かりやすく説明した動画を公開しております。

【特長】
■装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
■処理後、すぐに「色」で判断できる
■段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価できる
■高額な評価装置が不要なため、設備経費が軽減できる
■評価時間が短縮でき、総合的な生産性の向上が期待できる

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は実装工程や後工程
向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。

「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に最適化。
UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。

「Arクリーニング用」はイオン性のArプラズマを効率よく検知。
ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では
O2クリーニング用のほうが適しています。

【使用例】
■めっき前の表面改質
■ワイヤーボンディングなど接合面の表面改質
■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
■LSI、メモリ、MEMS等電子デバイスの封止前のクリーニング

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『PLAZMARK 耐熱性』は高温プロセス向けプラズマ処理効果の評価ツールです。

色材に無機材料、機材にポリイミドを採用。
ラベル型でありながら200℃の高い耐熱性を実現します。

フレキシブル性、接着性に優れているため基板表面や装置内に
自由に貼り付けることができます。

【構成】
■保護フィルム
■検知部（変色色材）
■基材（ポリイミド）
■剥離フィルム

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』は常圧処理工程や洗浄工程向けの
プラズマ処理効果の評価ツールです。

新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に
特化した検知性能を実現。

プリント配線板やFPD製造など、大面積の大気圧(常圧)プラズマ処理の
チェックに適しています。
UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けの
プラズマ処理効果の評価ツールです。

ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで
簡単に面内分布の可視化が可能。

基板サイズや材質、変色感度は要望に応じて対応します。

【特長】
■無機色材の採用で清浄性を確保
■放出ガスを極限まで低減
■400℃の耐熱性
■基板サイズ、材質は要望に応じて対応

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『PLAZMARK　Arクリーニング用』は、アルゴンプラズマに代表される
イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、
クリーニングや前処理工程の処理効果の評価に使用できるプラズマ
インジケータです。

また一種のみであった「Arクリーニング用」の変色感度に、高感度タイプの
インジケータを商品化。

これにより、これまで評価が難しかったソフトなArプラズマ処理や短時間処理
でもご使用頂くことが可能となりました。

【特長】
■高感度を実現
■装置内に置くだけの簡単操作
■処理後、すぐに色で判断可能
■段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価可能
■高額な評価装置が不要なため、経費軽減

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、
お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。

このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として
『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！

電子デバイスのエッチングやアッシングなど、
ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。

【特長】
■高い耐熱性(400℃)を実現
■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適
■基板はシリコン・サファイアの2種類をご用意

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

株式会社サクラクレパスでは、『耐熱性ラベルNo.102』を期間限定、
数量限定で在庫処分価格で販売を行います。

PLAZMARK耐熱性ラベルは、無機色材とポリイミド基材の組み合わせにより
200℃までの耐熱性を実現した製品で、高温条件でのプラズマ処理や
高い入熱があるようなプラズマ処理の効果確認にお使いいただけます。

『耐熱性ラベルNo.102』は、次回の生産分から保護フィルムの形状など
外観上のマイナーチェンジを行う計画で、これに伴い現行仕様のものを
特別価格にて販売することになりました。

この機会に是非お急ぎお買い求め下さい。

【概要】
■期間：2017年3月28日（火）～ 2017年4月28日（金）までに発注したもの
■数量：何個でもお買い求めいただけます
　　　　※予定数量が終わり次第、予告なく終了する場合がございます
■ご注文：通常と同じ経路でご注文下さい
■その他：今回特別価格にて販売する製品は使用期限が2018年6月となります

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

株式会社サクラクレパスでは、『耐熱性ラベルNo.102』を期間限定、
数量限定で在庫処分価格で販売を行います。期間を2017年5月31日まで延長します。

PLAZMARK耐熱性ラベルは、無機色材とポリイミド基材の組み合わせにより
200℃までの耐熱性を実現した製品で、高温条件でのプラズマ処理や
高い入熱があるようなプラズマ処理の効果確認にお使いいただけます。

『耐熱性ラベルNo.102』は、次回の生産分から保護フィルムの形状など
外観上のマイナーチェンジを行う計画で、これに伴い現行仕様のものを
特別価格にて販売することになりました。

この機会に是非お買い求め下さい。

【概要】
■期間：2017年3月28日（火）～ 2017年4月28日（金）までに発注したもの⇒5月31日（水）まで期間延長！
■数量：何個でもお買い求めいただけます
　　　　※予定数量が終わり次第、予告なく終了する場合がございます
■ご注文：通常と同じ経路でご注文下さい
■その他：今回特別価格にて販売する製品は使用期限が2018年6月となります

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Ⓡ』は、プラズマで変色する色材を用いた
インジケータ。

プラズマ密度に応じて段階的に変色するため、プラズマの状態を
「色で見える化」できます。

当「デスミア用」製品は、エッチング量測定など面倒で誤差の生じやすい測定なしでデスミア工程の管理が可能。
他のラインアップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力な
プラズマ処理にも対応します。

【特長】
■プリント配線板ビアホールのデミアス処理用
■対応ガス：O2＋CF4
■適用エッチング量：～6μm（ポリイミド）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Ⓡ』は、プラズマで変色する色材を用いた
インジケータ。

プラズマ密度に応じて段階的に変色するため、プラズマの状態を
「色で見える化」できます。

当「デスミア用」製品は、エッチング量測定など面倒で誤差の生じやすい測定なしでデスミア工程の管理が可能。
他のラインアップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力な
プラズマ処理にも対応します。

■従来の検査方法
段差計、接触角計、濡れ試薬など。
使う人が限られていたり、工数がかかっていた。。。
☆プラズマークであればだれでも簡単にできます！
☆1枚250円～導入可能！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Ⓡ』は、プラズマで変色する色材を用いた
インジケータ。

プラズマ密度に応じて段階的に変色するため、プラズマの状態を
「色で見える化」できます。

当「デスミア用」製品は、エッチング量測定など面倒で誤差の生じやすい測定なしでデスミア工程の管理が可能。
他のラインアップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力な
プラズマ処理にも対応します。

■従来の検査方法
段差計、接触角計、濡れ試薬など。
使う人が限られていたり、工数がかかっていた。。。
☆プラズマークであればだれでも簡単にできます！
☆1枚250円～導入可能！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARKⓇ デスミア用』は、プリント配線板ビアホールのプラズマ
デスミア用の貼付が可能なラベル型インジケータです。

バッチ式プラズマデスミア装置はもちろん、ロールtoロール式プラズマ
デスミア装置でもお使いいただける仕様となっており、従来法のエッチング
量測定と同等の評価を色の変化で手軽に評価できます。

また、他のPLAZMARKⓇラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力
長時間の強力なプラズマ処理にもお使いいただけます。

【特長】
■感度2種類をラインナップ
■フレキシブルなラベル型
■色差計による数値化も可能
■面倒な重量測定なし
■O2＋CF4系ガスに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では
検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる
カード型のインジケータです。

ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくい
イオン性のプラズマを効率よく検知可能。

ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの
混合系では、O2クリーニング用のほうが適しています。

【特長】
■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ
■目的に合わせてお選びいただける3形状
■半導体の後工程など幅広く使用可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では検知しにくい
イオン性のArプラズマを効率よく検知できるラベル型のインジケータです。

ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくいイオン性のプラズマを
効率よく検知可能。

当製品の他に、気になる箇所に手軽に設置できる「カード型」と、大面積で
分布を捉えることのできる「シート型」の3形状をご用意しております。

【特長】
■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ
■目的に合わせてお選びいただける3形状
■半導体の後工程など幅広く使用可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では
検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる
シート型のインジケータです。

めっき前の表面改質をはじめ、部品実装後のアンダーフィル前
クリーニングなど、幅広い場面で使用可能。

ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、
O2クリーニング用のほうが適しています。

【特長】
■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ
■目的に合わせてお選びいただける3形状
■半導体の後工程など幅広く使用可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う、プラズマインジケータ『PLAZMARK』について
ご紹介いたします。

当製品は、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する
機能性色材を用いた評価ツール。

プラズマ強度に応じて連続的に変色するので、プラズマの処理効果を
細かく評価することができます。

【特長】
■プラズマ強度に応じて連続的に変色
■プラズマの処理効果を細かく評価

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う「PLAZMARK」は、目に見えないプラズマ処理の効果を、
色でわかりやすく見える化した製品です。

当製品の使用することにより、プラズマの強度に応じて連続的に
変色するので、プラズマ処理の効果を細かく評価することが可能。

プラズマが当たっているかどうかや、プラズマの均一性と分布、
周辺への影響、同型装置と同一プロセス装置の処理効果を確認できます。

【特長】
■プラズマが当たっているかどうか
・正常状態の確認/再現性の確認/装置管理
■プラズマの均一性、分布
・面内分布の確認/異常放電検知の確認/3次元形状での効果確認

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う「PLAZMARK」は、様々な場所で使えるように4種類の
形状から選べ、幅広いニーズに対応した製品です。

セッティングはステージ面に置いたり、壁面に貼り付けたり、
装置にセットするだけなので、専門的なスキルがなくても、
手間なく簡単。

置く、貼る、見るの簡単ステップで評価ができます。

【簡単3ステップ】
■置くだけ
■貼るだけ
■見るだけ

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う「PLAZMARK」は、チェックが簡単にでき、コストが
圧縮できる製品です。

プラズマクリーニングの効果確認には、これまで高価な装置が
必要であったり、測定に手間がかかっていましたが、
プラズマインジケータなら目視でのチェックが可能。

誰もが簡単正確に短時間でチェックできるので、作業効率アップや
コスト圧縮に貢献します。

【特長】
■目視でのチェックが可能
■誰もが簡単正確に短時間でチェックできる
■作業効率アップやコスト圧縮に貢献

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う「PLAZMARK」は、目的や用途に応じた製品がございます。

接合面のクリーニングに使用する「クリーニング用」や発光分析では
評価できないプラズマ分布を簡単に評価可能な「ウエハ型」をご用意。

また、高速なプラズマ処理にも反応する「大気圧プラズマ用」などの
種類を取り揃えております。

【ラインアップ】
■クリーニング用
■ウエハ型
■大気圧プラズマ用

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

電子部品メーカーの中国工場へ『PLAZMARK O2クリーニング用』を
導入した事例をご紹介いたします。

毎日多段式の真空プラズマ装置に部品をセットしてクリーニング処理を
行っていますが、月に1度くらいの頻度で不良が発生していました。

当製品を導入してからは、不良の発生率が劇的に改善しました。

【事例概要】
■課題
・月に1度くらいの頻度で不良が発生
・業務手順は指導しているが、作業員によってばらつきがある
■結果
・不良の発生率が劇的に改善

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

樹脂成形品メーカーの生産技術部が『PLAZMARK 大気プラズマ用』を
導入した事例をご紹介いたします。

樹脂成形部品の接合前にプラズマ処理により表面改質をしていますが、
3次元形状であるため、各部をムラなく改質できているかどうか、
確認方法に頭を悩ませてました。

当製品の導入により、装置のパフォーマンスの経時変化を毎日の
チェックで未然に防ぎ、安定した品質の製品が納入できるようになりました。

【事例概要】
■課題
・3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩み

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

装置メーカーの顧客サービス部が『PLAZMARK O2クリーニング用』を
導入した事例をご紹介いたします。

自社製真空プラズマ装置の排気パイプのシーリング部品の劣化が早過ぎると
クレームを受け、不具合がないか原因究明を求められました。

そこでチャンバー内のプラズマの様子を確認するため、当製品を導入して
実験したところ、排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が
変色により把握でき、ユーザーの工程への影響も最小限で抑えられました。

【事例概要】
■課題
・自社製プラズマ装置に不具合がないか原因を究明
■結果
・排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が変色により把握
・ユーザーの工程への影響も最小限で抑えることができた

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

電子部品メーカーの生産技術部が『PLAZMARK O2クリーニング用』を
導入した事例をご紹介いたします。

同じ工程を複数の自動化ラインで大量に走らせていますが、ラインごとの
品質のバラツキを生産部と品質部から指摘されていました。

当製品は、取り扱いが簡単な作業なので、ラインの拡張時も目標とする
色の変化を明確に数値管理できます。

【事例概要】
■課題
・ラインごとの品質のバラツキ
■結果
・ラインの拡張時も目標とする色の変化を明確に数値管理可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

半導体メーカーのパッケージング部門生産部が
『PLAZMARK Arクリーニング用』を導入した事例をご紹介いたします。

ワイヤーボンディング前のプラズマクリーニングの効果の確認が必要で、
Auのエッチングレートによる管理をしていますが、装置が高価、測定は面倒、
誰でもできるというものではなく、試験片が高価という課題がありました。

当製品の導入によって、作業効率が飛躍的に改善。数ヶ月に1度しか
実施していなかった確認作業を毎日のルーティンに切り替えることができ、
結果として品質の安定につながり、ライン全体のVEにつながりました。

【事例概要】
■課題
・プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』は、処理時間が短い
プラズマインジケータです。

マイルドなプラズマ処理を繰り返した時の変色見本と変色色差の
比較では、今までの高感度と比べて変色速度が3倍以上。

貼付可能な「ロングラベル型」と、一度に分布評価が可能な
「シート型」の2形状をご用意しております。

【こんなプロセスに好適】
■スキャンスピードが速い(処理時間が短い)
■プラズマパワーが小さい
■現行高感度No.41では変色しない

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、
プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！

【セミナー開催のお知らせ】
■日時：2022年9月29日（木）
■時間：16：00～17：00
■テーマ：色差測定について
■参加方法：無料（事前申込が必要）
★セミナー参加をご希望の方は、「セミナー申込はこちら」よりお申込みください。

【「PLAZMARK」の特長】
■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易
■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現
■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献

※本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。
 （詳細を見る）

『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は、
実装工程や後工程向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。

「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に好適。
UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。

「Arクリーニング用」は、アルゴンプラズマに代表される
イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、
クリーニングや前処理工程の処理効果の評価に使用できるプラズマ
インジケータです。
一種のみであった「Arクリーニング用」の変色感度に、高感度タイプの
インジケータを商品化。
これにより、これまで評価が難しかったソフトなArプラズマ処理や短時間処理
でもご使用頂くことが可能となりました。

当冊子では、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する
機能性色材を用いた評価ツールのプラズマインジケータ「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説しています。 （詳細を見る）

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、
プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！

使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、
常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、
高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。

★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。

【「PLAZMARK」の特長】
■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易
■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現
■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献

※製品について詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
★サンプルをご希望の方は「サンプル申込はコチラ」
もしくはお問合せフォームよりお申込ください。 （詳細を見る）

当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない
設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。

表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、
基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し
クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。

【特長】
■金属元素を使用しない設計
■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用
■8インチと12インチのサイズをご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

MEMS部品メーカーの工程管理課が『PLAZMARK ウエハ型』を
導入した事例をご紹介いたします。

お客様のニーズに合わせて高付加価値なMEMS部品を製造していますが、
多品種少量生産なのでなかなか歩留りが上がらず苦慮していました。
生産工程に検査設備を導入しようとすると、導入費用が高過ぎるという
課題もありました。

当製品を試したところ、極端なバラつきは目視で簡単に把握。
微妙なバラつきは色差計を使用すれば精度の高い管理も可能で、
色差計導入の社内の承認も非常にスムーズに得ることができました。

【事例概要】
■課題
・ウエハへのプラズマ処理が均一に出来ているか
・現在の生産量では設備を導入する初期費用の負担が大きい

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社の『PLAZMARK』が企業に選ばれる理由をご紹介いたします。

分布評価のような相対評価や変色限度見本を作成すれば、目視で簡単評価。
誰もが簡単・正確にチェックができるので、作業効率アップやコスト圧縮に
繋がります。

また、高い精度と低いコストを両立。比較的低コストでの導入が可能で
画内分布評価も容易なため、その実用性を高く評価いただいています。
ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【企業に選ばれる理由】
■目視で簡単・正確に短時間のチェックで作業効率アップ
■精度が高く、コストも低い

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社の『PLAZMARK』の無料サンプルお問合せからの流れをご紹介いたします。

無料サンプルのお問合せ後、頂戴している情報に基づきヒアリング。
1～2日以内に該当サンプルをお届けします。

選定のお手伝いをさせていただき、結果を基にお客様の目的に適う
インジケータを提案。製品導入はいつもお使いの理化学系商社様経由で
ご注文可能です。

【無料サンプルからの流れ】
■STEP01：無料サンプルお問い合わせ
■STEP02：コンタクトをお待ちください
■STEP03：サンプルを「味見」する
■STEP04：味見の結果を一緒にご確認します
■STEP05：いざ、インジケータを導入

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

目に見えないからこそ、正確に測定したいプラズマ。
今まで手作業で測定していた方必見の、測定効率UPのご提案です。

『PLAZMARK』は、プラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果確認用インジケータ。
プラズマ処理強度に応じて徐々に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることも可能！
（ただし数値化には別途、色差計が必要です）


【PDFにて課題別の解決事例をご紹介！】
・月に1度くらいの頻度で不良が発生。手順は指導しているが、作業員によってばらつきがある。
・3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩んでいた。
・自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。
・ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。
・プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。

※事例については、PDFをダウンロードしてご覧ください。 （詳細を見る）

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、
プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」をマンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！

使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、
常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、
高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。

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【「PLAZMARK」の特長】
■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易
■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現
■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献

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