小型空気圧サーボ弁『空圧サーボ弁　J814シリーズ』

1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小型構造。ロボット、半導体製造、アニマトロニクスに最適！

『空圧サーボ弁　J814シリーズ』は、3方弁もしくは4方弁に対応した高トルク、高応答、高精度な小型空気圧サーボ弁です。

指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。

代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。

【特長】
■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁
■高分解能と低ヒステリシス
■小型で軽量、高応答性
■摺動部がなく頑強で長寿命設計

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。