株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
最終更新日：2015-08-24 13:01:25.0
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
基本情報ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売などを行っている株式会社アルバックの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。
【ラインナップ】
○LR/HR60
○LR/HR90
○LR180
○LR421
○LR421-T ほか
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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