ジャパンクリエイト株式会社『枚葉式ウエハ処理装置』

ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。
全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。
『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉自動洗浄装置でウエハ搬送は3軸多関節クリーンロボットと前後搬送の単軸ロボットの組み合わせで構成されています。

【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理
○カセットの他FOUPも使用できるタイプも有り

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。
全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。
『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。
ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。

【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『自動基板用現像装置』は、枚葉式の基板自動現像装置です。
現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。
また現像方式はスプレー式とパドル式の選択が出来ます。
基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。

【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『自動ウエハレジスト塗布装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布装置です。
レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。
また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。
ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。

【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。
装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。
レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。
また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。
ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。

【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される
RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。

ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに
採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。

【特長】
■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能
■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK
■急な仕様変更にも細かく対応
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される
RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。

ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに
採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。

【特長】
■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能
■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK
■急な仕様変更にも細かく対応
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【展示会出展情報】
SEMICON Japan
場所：東京ビッグサイト
期間：2017年12月13日～15日
小間番号：3509　東ホール
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『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。

プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。

当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、当社が得意としているプラズマCVDプロセス技術を応用し、
樹脂容器材質として一般的に普及している「PETボトル」への
DLCコーティングに特化した成膜装置です。

PETボトル内面へサブミクロンオーダーのDLC薄膜コーティングを施すことで、
内容物の酸化による風味劣化防止や、炭酸成分の溶出防止、
また容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します。

【特長】
■必要生産本数により、様々な装置構成のご提案可能
■3L容器までコーティング可能
■3L以上の容器に関してもご相談下さい
■PET樹脂以外の樹脂材質に関してもご相談下さい
■金属材質に関してもご相談下さい

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）