特殊成膜技術 「オスミウムコーティング」

設計開発および特殊加工、電子部品販売などを行っている株式会社大和テクノシステムズの製品カタログです。

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
高精度に加工、清浄化したアパーチャープレートにオスミウムを成膜することで、アパーチャープレートのチャージアップを防止することが可能です。
オスミウムは高硬度、高融点であり、導電性の薄膜です。プラズマCVD法にて成膜するため、微細な穴の内部まで均一でなめらかな膜を形成することが出来ます。