インビュー(InVue)液体用濃度計『CR288』

『CR288』は、インラインでの測定により、サンプリングのための液体を消費することなく、リアルタイムで異常を見つけることができる濃度計です。
反射光方式のため、光を通さない液体でも高精度な測定が可能です。
高清浄で耐腐食性に優れたセンサーは、測定する液体を選びません。
濃度と液温を表示するとともに、アナログ信号（4-20mA）とデジタル信号（RS-232）で出力します。
1台のディスプレイユニットにセンサーヘッドを4本まで接続可能です。

【特長】
○小型で設置場所を選ばない
○光学式（屈折率）で高精度な測定
○接液部はフッ素樹脂とサファイア
○優れた応答性
○許容範囲を設定することで、アラーム出力も可能 （詳細を見る）

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。

また好適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

【特長】
■清浄度の高い薬液を供給
■製品の歩留まりを向上
■経済的損失を減少

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードして下さい。

※「高純度薬液の供給」に関連する製品については、以下の「PDFダウンロード」から資料をダウンロードしてください。 （詳細を見る）