【自動化のマスト設備】 インライン式周波数調整装置 SFE-X2012型

水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。
ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。
イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。
ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。
今までインラインでは困難であった小型ワークの周波数調整も、安定して量産できます。
ユニット毎に各機器の分解が可能で、メンテナンス性を考慮した設計となっています。