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最終更新日:2018-06-08 01:30:35.0

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★nano BenchTopシリーズ 卓上型薄膜実験装置★_製品案内2017

基本情報★nano BenchTopシリーズ 卓上型薄膜実験装置★_製品案内2017

nanoBenchtop series

カタログ発行日:2018/06/08

高機能・省スペース 最小サイズの卓上型薄膜実験装置シリーズを紹介致します。

大学・研究機関・企業開発部門などでの実験用途に幅広くラインナップを増やしました。スタンドアロン機なみの高機能を卓上サイズの装置に凝縮したはいコストパフォーマンス装置です。

◉ nanoPVD-S10A 卓上型スパッタリング装置
Φ2inchマグネトロンカソード x 3基
最大構成:抵抗加熱蒸着源x 2基、有機蒸着源 x 4基
◉ ANNEAL 卓上型ウエハーアニール装置 Max1000℃
Φ6inchまでのウエハーを、Max1000℃の高温アニール処理
3種類のヒーターオプション、MFC x 3系統ガス制御
◉ nanoETCH 卓上型ドライエッチング装置
グラフェン, 2D結晶の安定した剥離・転写が可能, nanoCVDとの併用で高品質グラフェン合成実験を実現
◉ nanoETCH 卓上型ドライエッチング装置
グラフェン, 2D結晶の安定した剥離・転写用、又その他デバイス薄膜開発用ソフトエッチング
◉ nanoEM 卓上型コーター(TEM/SEM・顕微鏡試料作成用コーター)
◉ nanoCVD 卓上型グラフェンCNT合成装置
◉ nanoPVD-WPG 卓上型プラズマCVD装置

◉MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉2200℃

MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハーアニール炉 製品画像

◉Max2200℃(真空中1x10-5Torr, N2, Ar)
◉WCF使用雰囲気:真空・不活性ガス(カーボン炉)
◉WMF使用雰囲気:真空・不活性・還元ガス(メタル炉)
◉試料台サイズφ2inch〜φ8inch
◉特注ウエハーホルダ(ウエハートレー)製作可能
◉SiC・GaNデバイス基礎研究、新素材・新材料開発、及びその他先端基礎技術開発部門で活用いただけます。 (詳細を見る

【PyroUSB】 (パイロUSB)高精度赤外線温度センサー

『PyroUSB』USB接続式高精度赤外線温度センサー

【概要】
標準付属の「Calexsoft」とUSBケーブルでWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
1) 4-20mA出力
2) USB出力(USBバスパワーで動作)
3) 4-20mA/USB出力の同時使用
の3通りの使い方が可能です。

【特徴】
◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能
◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答
◎ 短波長2.0〜2.4μmをカバー(PU2.2のみ):金属表面も測定可能 (詳細を見る

価格帯 1万円以上 10万円未満 納期

アイコン 【PyroUSB】 (パイロUSB)高精度赤外線温度センサー CAD一覧

型番 概要 CADダウンロード
PyroUSB 3D file_PDF PyroUS 3D file_PDF 3D
PDF : 655KB
PyroUSB 3D_IGS format PyroUSB 3D_IGS format 3D
IGS : 2MB

チェックしたものをまとめて 

【nanoCVD】卓上型グラフェン/CNT合成装置

nanoCVD-8G 製品画像

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール
◉ 急速昇温:RT→1100℃/約3分間
◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機 (詳細を見る

【FiberMini】ファイバー式赤外線放射温度センサー

『FiberMini』ファイバー式赤外線放射温度センサー

● センサ内部に電子機器や導電性部品を持たないファイバー方式の為、電磁界の影響を受けません。
● 短波長2.0〜2.6um 低放射率の金属表面温度測定などにも最適。
● 高周波やマイクロ波、強磁場、高電圧環境下で使用可能。
● 小型センシングヘッド(Φ10mm)により、狭い場所、直接覗き込めない場所などでの温度測定が可能。
● センシングヘッド部耐熱200℃ 冷却無しで200℃までの高温環境で測定可能。
● 『タッチスクリーン・設定ユニット』:明るく見やすい表示部、高性能データロガーも兼ねる簡単設定操作ユニット
● 光ファイバー長 3m(標準) 5m、10m(オプション)
● RS485デジタル通信、4〜20mAアナログ出力を標準装備
● アラームリレー x 2点付属
● microSDカード(*別売 最大32GB)でデータ保存:CSVファイル(測定結果) アラーム履歴 (詳細を見る

価格帯 10万円以上 50万円未満 納期

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

『PyroNFC』スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。
● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1)
● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。
● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。
● 高速応答125msec、高精度±1.5%
● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力 (詳細を見る

価格帯 1万円以上 10万円未満 納期 1ヶ月以内

【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

『PyroMini USB』USB接続式小型赤外線温度センサー

【概要】
標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。
さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。

【特徴】
◎ USBデータロギング
◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃
◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答
◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0
◎ 測定波長領域8〜14μm
◎ 小型Φ18mm x 45mm (詳細を見る

価格帯 1万円以上 10万円未満 納期 1ヶ月以内

アイコン 【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー CAD一覧

型番 概要 CADダウンロード
PyroUSB 3D file_PDF PyroUS 3D file_PDF 3D
PDF : 655KB
PyroUSB 3D_IGS format PyroUSB 3D_IGS format 3D
IGS : 2MB

チェックしたものをまとめて 

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

『PyroMini』小型高性能赤外線温度センサー

【概要】
視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。
microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。
(*オプションでディスプレー無しの変換器もあります)
φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。
PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。

【特徴】
◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2)
◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答
◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2)
◎ 小型Φ18mm x 45mm (詳細を見る

価格帯 1万円以上 10万円未満 納期 1ヶ月以内

卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』

『nanoPVDシリーズ』は、材料研究・新素材開発・電子デバイス開発などの基礎実験・研究開発用に多目的にご使用いただける小型・高性能真空薄膜実験装置です。

nanoPVD-S10Aは、Ф2inchマグネトロンカードを最大3基搭載、基板回転・上下昇降・加熱500℃シャッターなどのオプションが充実、RF・DC電源両対応、最大3系統のガス入力(MFC制御)に対応。充実した基本性能と豊富なオプションで高品質の成膜が可能となります。

nanoPVD-T15Aは、抵抗加熱蒸着源を最大2基、有機蒸着源最大4基まで搭載し、金属膜・絶縁膜の多層膜、連続成膜が可能な基本性能に優れた蒸着装置です。

【特長】
■SUS304高真空チャンバー:真空到達度5x10-5Pascal
■PLC自動制御、11"タッチパネルによる直感的操作
■装置寸法:804(W)x530(D)x512(H)mm(*T15A寸法)

※上記2製品、及び【nano BenchTopシリーズダイジェストカタログ】【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】のカタログを進呈中です!ダウンロードしてご覧ください。 (詳細を見る

取扱会社 ★nano BenchTopシリーズ 卓上型薄膜実験装置★_製品案内2017

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター(1〜12inch) 2. R&D用真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空用熱電対 6. 真空コンポーネント

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