SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ

『SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。
半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管、ガス配管などの製品も掲載しております。

【掲載製品】
○NW規格（NW Standard）
○ICF規格（ICF Standard）
○アダプターシリーズ（Adaptor Series）
○真空ホース（Vacuum Metal Hose）
○ISO規格（ISO Standard）、その他

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「NWロングフランジ」は、「長さ 50L」と「長さ 70L」、2タイプの製品をラインアップしております。

【特長】
■材質：SUS304/SUS316L
■特別寸法も製作可能
■保護キャップ付き

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『NWフランジ 特別寸法』は、3タイプの製品をラインアップしております。

【特長】
■NWフランジ
■材質：SUS304/SUS316L
■保護キャップ付き

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『NWブランクフランジ』は、保護キャップ付きのフランジです。
特別寸法も製作いたします。

【特長】
■材質：SUS304/SUS316L
■特別寸法も製作可能
■保護キャップ付き

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『クランプリング』は、二点式に比べ、安価な製品です。
本体・蝶ナットはアルミニウム、ボルト・ピン・ワッシャーはSS。
また、「TYPE A」の蝶ナットはSUS、「TYPE Ｂ」の蝶ナットはZNです。

【特長】
■本体・蝶ナット：AL
■ボルト・ピン・ワッシャー：SS
■TYPE A
　・本体：AL
　・蝶ナット：SUS
■TYPE Ｂ
　・本体：AL
　・蝶ナット：ZN
　・ボルト・ピン・ワッシャー：SS

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『バルクヘッド クランプ／ウォールクランプ』は、材質がALの製品です。

『ウォールクランプ』は、Ｍ6ボルト、ワッシャー（SS材）付きです。
規格NW16～50まで共通となります。

【特長】
■材質：AL
■Ｍ6ボルト、ワッシャー（SS材）付き（ウォールクランプ）

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『クランプチェーン』は、材質がステンレス+アルミの製品です。

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『センターリング』の基本材質はSUS304とフッ素ゴムです。
インナー側がSUS316Lの製品や、OリングがNBRやシリコン等の製品も承ります。

【特長】
■インナー側SUS316Lも可能
■OリングはNBRやシリコン等も可能
■OリングはNW10~NW80迄は太さφ5、
　NW100以上は太さφ5.33
■NW250以上も取扱あり

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『アウターリング』の基本材質は、インナー/アウター共SUS304、Oリングはフッ素ゴムです。

インナー側がSUS316Lの製品や、OリングがNBRやシリコン等の製品も承ります。また、NW100以上も取り扱っております。
Oリングは、NW10~NW80迄は太さφ5、NW100以上は太さφ5.33になります。

【特長】
■基本材質はインナー/アウター共SUS304、Oリングはフッ素ゴム
■インナー側のSUS316Lも可能
■OリングのNBRやシリコン等も可能
■OリングはNW10～NW80迄 太さφ5、NW100以上は太さφ5.33
■NW100以上も取扱あり

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『変換レジューサ / NWティー』の標準材質はSUS304です。
その他特殊寸法の製作も可能です。

また『NWティー』の表面処理はGBBのほか、電解研磨/酸洗も製作が可能です。

【特長】
■標準材質：SUS304
■特殊寸法の製作も可能
■表面処理：GBB（NWティー）
■表面処理 電解研磨/酸洗も製作可能（NWティー）

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『NWクロス／NWニップル』の標準材質はSUS304です。

表面処理は「NWクロス」がGBB、「NWニップル」は酸洗いです。
その他、電解研磨/酸洗の製作や、特殊寸法の製作も可能です。

【特長】
■標準材質：SUS304
■表面処理：GBB（NWクロス）、酸洗い（NWニップル）
■電解研磨/酸洗も製作可能
■特殊寸法の製作も可能

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『NWエルボ』の標準材質はSUS304です。

表面処理はGBB。その他、電解研磨/酸洗の製作も可能です。
また、特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■標準材質：SUS304
■表面処理：GBB
■表面処理 電解研磨/酸洗も製作可能
■特殊寸法の製作も可能

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『NWフレキシブルチューブ』のチューブ部分と金具部分の材質はSUS304です。

仕様圧力範囲は、MAX0.2MPa～と超高真空。ブレード付きの製作も可能です。
また、その他の長さでも製作対応いたします。

【特長】
■チューブ材質：SUS304
■金具材質：SUS304
■仕様圧力範囲：MAX0.2MPa～超高真空
■ブレード付きの製作も可能
■L以外の長さも製作可能

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『ICFミニフランジ』の材質はSUS304Lです。

「固定フランジ」と「回転フランジ」の2種類を取り扱っており、
ボルト穴は、キリ穴とタップ穴から指定ができます。
また、特殊寸法も製作可能です。

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『ICFブランクフランジ（固定）』は、材質がSUS304Lの製品です。
ボルト穴は、キリ穴とタップ穴から指定ができます。
また、特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■材質：SUS304L
■特殊寸法の製作も可能

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『ICF穴あきフランジ（固定）』の材質はSUS304Lです。
ボルト穴は、キリ穴とタップ穴から指定ができます。
また、特殊寸法の製作も対応いたします。

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『ICFブランクフランジ（回転）』の材質はSUS304Lです。

ボルト穴は、キリ穴とタップ穴から指定ができます。
また、特殊寸法の製作も対応いたします。

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『ICF穴あきフランジ（回転）』の材質はSUS304Lです。

ボルト穴は、キリ穴とタップ穴から指定ができます。
また、特殊寸法の製作も対応いたします。

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『ICF両面穴あきフランジ/ICF両面ブランクフランジ』は、材質がSUS304Lの製品です。
特殊寸法の製作も対応いたします。

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『ICF変換フランジ』は、材質がSUS304Lの製品です。
特殊寸法の製作も対応いたします。

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『ビューポート』は、「コバール ビューポート」と、「合成石英 ビューポート」をラインアップしています。

特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■材質：フランジ部 SUS304L
■特殊寸法の製作も可能

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『ニップル／エルボ』の表面処理は電解研磨/酸洗/GBBです。

特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■材質：SUS304L
■特殊寸の製作も可能
■片側回転フランジ

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『ティー/クロス』の表面処理は電解研磨/酸洗/GBBです。

特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■材質：SUS304L
■2方向回転フランジ
■特殊寸法の製作も可能

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ICF 規格の「６方向クロス」と無酸素銅ガスケット「銅ガスケット」をラインアップしております。

特別寸法も製作いたします。

【特長】
［ICF Cross（6方向クロス）］
■材質：SUS304L
■表面処理：電解研磨/酸洗/GBB
■特殊寸法の製作も可能
［ICF Gaskets（銅ガスケット）］
■その他：アルミ（ＡＬ）/金メッキ/銀メッキ/フッ素ゴム(FK)
■真空パック包装

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『アダプター』は、「オスアダプター」と「メスアダプター」を
各種ラインアップしています。

受注生産品ですので、特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■材質：フランジ部 SUS304L、継手部 SUS316L
■特殊寸法の製作も可能
■受注生産品

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『変換アダプター』は、「NW Flange+CF Flange」、
「NW Flange+JIS Flange」と「NW Flange+ISO Flange」を
ラインアップしています。

受注生産品。特殊寸法の製作も対応いたします。

【特長】
■表面処理：GBB/酸洗/電解研磨
■特殊寸法の製作も可能
■受注生産品

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『真空ホース』は、「チューブタイプ」、「ブレード付チューブタイプ」、「継手付チューブタイプ」をラインアップしています。

特別長さも製作いたします。

【特長】
■長さ：200・400・600・800・1000（チューブタイプ・ブレード付）
■チューブ材質：SUS304/316L（チューブタイプ・ブレード付）
　　　　　　　 316L（継手付）
■金具：SUS316L
■仕様圧力範囲
　・0.2ＭPa～超高真空（チューブタイプ・継手付）
　・1ＭPa～超高真空（ブレード付）
■継手付は メスタイプ(VF)も製作可能

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『アングルバルブ』は、「アングルバルブ（手動式）」と、
「アングルバルブ（圧空式）」をラインアップしています。

その他規格フランジタイプのバルブもございます。

【特長】
■本体材質：SUS304
■ベローズ材質：AM350
■<1.0x10-9 std cc/sec

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『アングルバルブ』は、「アングルバルブ（手動式）」と、「アングルバルブ（圧空式）」をラインアップしています。

その他規格フランジタイプのバルブもございます。

【特長】
■本体材質：SUS304
■ベローズ材質：AM350
■<1.0x10-9 std cc/sec

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『保護キャップ』は、ポリウレタン材質です。
その他、ICFフランジ用、ISOフランジ用キャップもございます。

『NW用Oリング』は、JISB2401 4種Ｄ(フッ素ゴム)材質です。
その他、JIS Ｂ 2401(P･G･V)S･AS規格等も取扱っております。

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当社では、半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管を、素材(SUS304～SUS316L)から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。1本、1個からご注文承ります。

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当社では『自動溶接GAS配管』として、SUS316L製のニップル、エルボ、チーズ、クロスを製作いたしております。
特殊寸法、内面EP仕様も製作可能です。

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湘南丸八エステック株式会社(SMST)は、半導体・液晶製造装置用の真空機器部品の設計・製造・販売などを行っている会社です。

当社は、お客様のご要望を素早く理解し、異種業界・多分野で培った経験と知識の中から、迅速で的確なご提案を致します。
品質・機能・コストを総合的に判断した最善のご提案と製品は、知識と技術の橋渡しの可能性を最大にし、お客様の発展に貢献致します。

【事業内容】
■半導体・液晶製造装置用の真空機器部品の設計・製造・販売
■各産業における分離分析機器の取扱い
　（HPLC,LC-MS,GC,GC-MSをはじめとする分析機器及び消耗品）
■研究理化学機器の特注カスタマイズ設計・製造・販売
■各種樹脂・金属・ガラス部品の加工及び販売
■上記の販売に関する営業の請負業務

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