株式会社ピーエムティー本社・工場
最終更新日:2021-03-02 18:07:44.0
マスクレス露光装置 『ME-120F』
基本情報マスクレス露光装置 『ME-120F』
DMDによる直接露光でリソグラフィをもっと身近に。デバイス試作にかかる費用と時間の削減に貢献します。
マスクレス露光装置ME-120Fは、DMD(Digital Micromirror Device)を使用し、ワークに直接描画を行う露光装置。
フォトマスクを使用しないので、マスクの作成に必要とされる費用や時間を大幅に削減します。
マスクレス露光装置『 ME-120F』
◆直接描画でフォトリソの課題を解消
マスクレス露光装置は、DMD(Digital Micromirror Device)により、ワークに直接描画を行う装置です。
フォトマスクの製作に必要とされていた莫大な費用と多くの時間が不要になることで、従来のフォトリソグラフィプロセスにおける課題が解消され、半導体デバイスの試作がより身近なものとなります。
◆選べる露光モード
2016年よりピクセル補完技術を応用したファイン露光モードを標準搭載しています。
標準露光モードに比べスループット時間は長くなりますが、斜線や曲線パターンのデータ再現性がきわめて高くなります。
◇DMDとは
DMDは、格子状に配列された数10万個の微小鏡のこと。この鏡面に光を照射し、一つひとつのミラーをON/OFF制御することで、汎用CADで作成した画像データをワークに投映します。
光源にはLED光を採用しているため、長寿命で経済的です。 (詳細を見る)
取扱会社 マスクレス露光装置 『ME-120F』
■精密加工事業 各種材料の調達および部品・金型の受託加工 ―セラミックス加工 ―メタル・低膨張合金加工 ■機械・装置事業 各種機械・装置の設計・製造および販売 ―NC微細加工機 ―マスクレス露光装置 ―ライフサイエンス向け自動化システム ―その他各種FA機器/OEM ■ロボティクス事業 AGV・AMR・SCARAなどを活用した生産現場の課題解決 ―ソリューション提案 ―シミュレーション作成 など
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