有機金属気相成長法による結晶成長シミュレーション(MOCVD Growth Simulation with PROCOM)

化合物半導体の有機金属気相成長法の数値シミュレーション事例

有機金属気相成長法(MOCVD)のプロセスシミュレーターPROCOM(プロコム)の事例を紹介。PROCOMは、流体力学(fluid dynamics)や質量(mass transport)および熱輸送(heat transport)、さらに非平衡ガス-ガス(non-equilibrium gas-gas)または非平衡ガス-表面(non-equilibrium gas-surface)化学反応(chemical reactions)を考慮したMOCVDプロセスの包括的なモデルを提供。統合されたGUIツールで幾何学的構造、メッシュおよび化学反応コントロールを取扱い可能。回転ディスクモデル(rotating disk model)は効果的で、MOCVDにおいて回転ディスクを使うことの利点を明らかにした。