CSupremを使った3次元MEMSシミュレーション(3D MEMS Simulation using CSuprem)

CSupremを使ったMEMSの3次元プロセスシミュレーションの事例

CSupremはMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)作成をただちに行えるシミュレータ。RFスイッチ(RF Switches)、電位計(Electrometer)、ポリシリコンMEMS(Polysilicon MEMS)、SOI MEMS、MT-VCSOAのプロセスシミュレーションを題材に実際の計算を例示。MEMS製造工程を正確に最適化、MEMS形成のシミュレーションに対し最適な3次元メッシュを生成。