株式会社テクノメイト
最終更新日：2018-06-22 16:46:41.0
真空ポンプユニット P94
基本情報真空ポンプユニット P94
真空ポンプユニット P94
ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の
真空発生装置として使用される水封式ポンプ
【特徴】
○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成
○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
○到達圧力：3.3kPa
○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ)
○接続口径：25mm
○給水量：3.83LP、0.2〜0.5MPa
○重量：約50Kg
○外形寸法：D484×H218×W186
○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ)
○電源電圧：185〜220V 3相Δ結線
○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ)
○周囲温度：40℃
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
真空ポンプユニット（装置組込型） P94
『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。
ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。
【特長】
■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット
■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適
※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
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取扱会社 真空ポンプユニット P94
各種機器・装置の設計・製作 【取扱い商品】 昇圧ポンプユニット 高圧ポンプユニット 真空ポンプユニット 冷却装置 加熱装置 恒温循環装置 薬液供給装置 各種試験装置 ３Ｄメガネ洗浄機 殺菌装置 排気装置 燃料電池関連
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