超純水加温装置

加温する液体に全く影響を及ぼさない作りとなっています。

本装置は、シリコンウェハ、液晶ガラス基板、ハードディスク基板等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより、非接触でクリーン加温する装置です。

【特徴】
○純水加熱容器は石英ガラスを使用
○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用
○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用
○加熱効率が９６％以上
○PID制御による±1℃の安定した温度制御
○起動から使用温度まで120秒以内の昇温
○幅広い使用流量・温度に対応
○流量変化に対応した温度調整が可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。