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最終更新日:2016/07/13

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【新技術の導入】スパッタリング/プラズマCVD

基本情報【新技術の導入】スパッタリング/プラズマCVD

少量の試作案件歓迎!スパッタリング、プラスマCVDの受託加工サービス

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、スパッタリング法によるコーティングサービスも始めました。
現在スパッタリング法での対応膜種は、Ti、TiN、TiCとさせていただいております。

また、プラズマCVD(Plasma-Chemical Vapor Deposition)法によるコーティングサービスも始めました。
現在プラズマCVD法での対応膜種は、DLC(Diamond-Like Carbon)、SiO2、SiON、SiCとさせていただいております。

【特長】
[スパッタリング法]
■高エネルギーを利用してTi系反応膜を形成
[プラズマCVD法]
■CVD法による利点を生かしPVD法よりも付まわりのよい膜形成が可能

【新技術の導入】スパッタリング/プラズマCVD

【新技術の導入】スパッタリング/プラズマCVD 製品画像

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング方式に加えスパッタ法によるコーティングサービスも始めました。
現在スパッタ法での対応膜種は、Ti、TiN、TiCとさせていただいております。

また、P-CVD(Plasma-Chemical Vapor Deposition)法によるコーティングサービスも始めました。
現在P-CVD法での対応膜種は、DLC(Diamond-Like Carbon)、SiO2、SiON、SiCとさせていただいております。

【特長】
[スパッタ法]
■高エネルギーを利用してTi系反応膜を形成
[P-CVD法]
■CVD法による利点を生かしPVD法より付まわりのよい膜形成が可能

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 【新技術の導入】スパッタリング/プラズマCVD

東邦化研株式会社

イオンプレーティング・真空蒸着・スパッタリング・プラズマCVDによる薄膜の受託加工 (機能性薄膜の作製、表面改質、パターニング加工などの受託請負)

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