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最終更新日:2016/08/05

  • 技術資料・事例集
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受託加工『CVD-SiCコーティング』

基本情報受託加工『CVD-SiCコーティング』

高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた
半導体特性を持つ薄膜です。

当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、
高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。

【特長】
■高硬度
■優れた耐熱性
■優れた耐磨耗性
■半導体特性を有する
■半導体装置部品等にも適応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

スペック情報

熱膨張係数   曲げ強度   寸法   真円度   ほか

受託加工『CVD-SiCコーティング』

受託加工『CVD-SiCコーティング』 製品画像

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた
半導体特性を持つ薄膜です。

当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、
高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。

【特長】
■高硬度
■優れた耐熱性
■優れた耐磨耗性
■半導体特性を有する
■半導体装置部品等にも適応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 受託加工『CVD-SiCコーティング』

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【取扱製品】 ■金属・セラミックス等への表面処理受託加工 ■CVD、PVD装置設計、製造、開発 ■真空装置の設計 ■ガス供給装置の設計

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