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最終更新日:2020-12-08 15:47:11.0

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TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター

基本情報TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 高純度ガス用インラインガスフィルター製品を掲載しています。

半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現!
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。

【仕  様】
粒子捕捉率  :99.9999999%
ろ過精度   :0.0025μm
ハウジング  :SUS316L(シングルメルト材 / ダブルメルト材)
エレメント  :金属焼結タイプ、PTFE膜タイプ
内面仕上げ  :≦ Ra 5μ inch(0.127μm)
多孔率    :60~70%(単位面積当たりの隙間の割合)
接続形状   :メタルフェイスシール(MFS継手:VCR相当)、ダブルフェルール継手
流量範囲   :15~9,000SLPM
最高使用圧力 :~21MPa(20℃時):エレメント金属焼結タイプ
       :~0.98MPa(20℃時):エレメントPTFE膜タイプ

【特 長】
・100% Heリーク試験済(1.0×10^-9 atm・cc /sec)
・100% パーティクル試験済(0.0025μm以上が未検出)
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包

半導体プロセスガス用 インラインフィルター

半導体プロセスガス用 インラインフィルター 製品画像

半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現!
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。

フィルターエレメントは、2種類。
・SUS316L材金属焼結タイプ
・PTFE膜タイプ
をガス種に応じて選定いただけます。

メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので
機器選定にご利用ください。

【特 長】
・100% Heリーク試験済(1.0×10^-9 atm・cc /sec)
・100% パーティクル試験済(0.0025μm以上が未検出)
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
・広い流量範囲(15~9,000SPLM)から選択可能
・メタルフェイスシール(MFS)継手、ダブルフェルールチューブ継手

現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします!是非お問合せください。

※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は
株式会社イプロスのAIによって表示されております。​ (詳細を見る

取扱会社 TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター

バリューインパクト有限会社

1.各種ステンレス製バルブ、フィッティングの輸入・販売 (下記メーカーの国内輸入元)  ーTK-FUJIKIN社(韓国)  ーDK-LOK社(韓国)  ーEVERFIT TECHNOLOGY社(台湾) 【取扱製品】 自動溶接継手、ダブルフェルール継手、圧力調整器、インラインガスフィルター、ダイアフラムバルブ、プラグバルブ、ボールバルブ、ベローズバルブ、ニードルバルブ、メータリングバルブ、リリーフバルブなど 2.ガス配管、ガス供給設備の設計、製作

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