5nmフィードバックステージシステム　カタログ

5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。

外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
 （詳細を見る）

■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。

■長ストローク
ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。

■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。
 （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、

位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ （詳細を見る）

[新型フィードバックステージコントローラの特長]
従来品との互換性を残しつつ、
・通信コマンド数の増加
・ティーチング機能追加
・USBインターフェース追加
・パラメータ数増加
などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。

[高分解能位置決め装置の特長]
フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。
フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。

[導入メリット]
・高い位置決め再現性による作業効率の向上
・高分解能動作による微調整が可能
・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能

詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。

□ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□ （詳細を見る）