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最終更新日:2016/11/11

  • 製品カタログ
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  • カタログ発行日:2016年

1nmフィードバックステージシステム カタログ

基本情報1nmフィードバックステージシステム カタログ

1nm分解能で位置決め!リニアエンコーダ内蔵

◆ボールねじ駆動で1nm分解能を達成!
◆弊社開発のリニアスケールを内蔵し、自社独自開発のフィードバック制御回路を搭載!
◆フィードバックステージは薄型で軽量の設計
◆直動ストロークは20mm,40mm,50mmの3種類をラインナップ
◆リニアスケールがステージ内にビルトイン!バックラッシュ等の機械誤差を無視できる!
◆高速動作タイプと高トルクタイプを用意
◆ナノメートルオーダーでの制御が必要な分野で活躍!

リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置

リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置 製品画像

[新型フィードバックステージコントローラの特長]
従来品との互換性を残しつつ、
・通信コマンド数の増加
・ティーチング機能追加
・USBインターフェース追加
・パラメータ数増加
などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。

[高分解能位置決め装置の特長]
フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。
フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。

[導入メリット]
・高い位置決め再現性による作業効率の向上
・高分解能動作による微調整が可能
・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能

詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。

□ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□ (詳細を見る

総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版

総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版 製品画像

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 (詳細を見る

1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 (詳細を見る

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY 製品画像

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。
ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。
ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。 (詳細を見る

アイコン 1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY CAD一覧

型番 概要 CADダウンロード
DWG-DXF_FS-1020UPX 1nm分解能ステージ FS-1020UPXの図面一式です。2Dは「DXF」「DWG」をご用意しております 2D
ZIP : 147KB

チェックしたものをまとめて 

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY 製品画像

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 (詳細を見る

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY 製品画像

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 (詳細を見る

アイコン 1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY CAD一覧

型番 概要 CADダウンロード
DWG-DXF_FS-1050UPX 1nm分解能ステージ FS-1050UPXの図面一式です。2Dは「DXF」「DWG」をご用意しております 2D
ZIP : 131KB

チェックしたものをまとめて 

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY 製品画像

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1020SPX(MD)
高速度タイプはFS-1020UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ (詳細を見る

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY 製品画像

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1040SPX(MD)
高速度タイプはFS-1040UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
 (詳細を見る

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY 製品画像

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1050SPX(MD)
高速度タイプはFS-1050UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
 (詳細を見る

1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。 (詳細を見る

価格帯 50万円以上 100万円未満 納期

小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』

小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』 製品画像

情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。

【Q&A掲載例】
■ステージとストロークのサイズはどのくらい?
■簡単に通信する方法は?シーケンサとの接続は可能か?
■オープンステージとフィードバックステージの違いは?
■位置決め時間はどのくらいか?
■どのようなところで使用されているか?…

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい  (詳細を見る

取扱会社 1nmフィードバックステージシステム カタログ

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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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