真空対応1nmフィードバックステージシステム　カタログ

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。 （詳細を見る）

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1050SPX(MD)
高速度タイプはFS-1050UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
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光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1040SPX(MD)
高速度タイプはFS-1040UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
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光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1020SPX(MD)
高速度タイプはFS-1020UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。
ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。
ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。 （詳細を見る）

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバー内で使用可能です。

リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
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光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

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情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。

【Q&A掲載例】
■ステージとストロークのサイズはどのくらい？
■簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？
■オープンステージとフィードバックステージの違いは？
■位置決め時間はどのくらいか？
■どのようなところで使用されているか？…

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい  （詳細を見る）