真空仕様エンコーダ

真空仕様エンコーダ

■真空環境下でも、高性能を発揮。
　10(-8乗)torr、150℃で48時間のベーキングが可能。

Ｖシリーズは、真空環境用として設計された非接触のエンコーダです。真空仕様のガス発生が少ない材質を使用して設計しており、10(-8乗)torrまでの真空環境でご使用いただけます。
また、センサーヘッドが必要最小限の部品で構成されているため、磁気の放出が極めて少なく、非磁性が求められるアプリケーションにも適しています。

■分解能
　リニア　　5μm〜5.0nm
　ロータリ　1650CPR〜64MCPR

■出力信号
　AB2相＋原点差動
　アラーム出力(M3000V、3500Vのみ)
　32bitシリアルワード出力(Si)
　差動RS422出力

■原点信号
　双方向いずれからでも高速読み取り可能