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最終更新日:2019-02-26 16:26:24.0

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  • カタログ発行日:2016/11/29

1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置(多目的型スクラブ洗浄)

基本情報1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置(多目的型スクラブ洗浄)

1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能!省スペースなので研究開発に好適

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置。1チャンバーの中で洗浄が完結できる省スペース型。

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 製品画像

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置

◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型
◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、
  各種ウェハに対応
◇ 異物(有機物・無機物)の除去、金属イオンの除去
◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 (詳細を見る

省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」

省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」 製品画像

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置です。
1つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。
単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。

【特長】
■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える
■被洗浄対象ウエハ:シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径  :φ2”~φ4” φ6”~φ8”

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 (詳細を見る

取扱会社 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置(多目的型スクラブ洗浄)

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■各種装置の開発、製造、販売 ■各種装置に付帯関連する一切の業務

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