『パイロリティックボロンナイトライド（PBN）』

『パイロリティックボロンナイトライド（PBN）』は、高い電気絶縁性と優れた熱伝導性を併せ持つ異方性の熱分解窒化ホウ素です。
色々な形状に蒸着製造または薄板などへの加工が可能。軽量で化学的耐性があり、耐熱衝撃性に優れた特性を有しているため高温での用途に適しています。

真空、半導体、エレクトロニクス、冶金、薄膜形成、蛍光体などで幅広く使用されています。

【特長】
■無毒（人体に無害）
■高純度（半導体製造にて実績）
■低密度（軽量化が可能）
■化学的に不活性（腐食性雰囲気中で実績）

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、
急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。

PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。
超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。

PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、
その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。

【特長】
■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応
■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる
■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる
■靭性があるため割れにくい
■化学的に安定

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