『PBNヒータ&静電チャック』

Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、
電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG）
の先端技術を使用した複合体です。

高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、
高温での化学的気相蒸着から生み出されています。

高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。

【特長】
■超高温対応（1500℃）
■寸法安定性と電気的安定性
■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる
■急速昇降温に対応

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、
急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。

PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。
超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。

PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、
その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。

【特長】
■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応
■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる
■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる
■靭性があるため割れにくい
■化学的に安定

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されています。

【特長】
■タンタルカーバイド
・超高温（2000℃以上）での使用が可能
・複雑な形状にも対応できる優れた被覆性
■静電チャック
・1000℃までのプロセスに対応
・仕様に応じての設計の自由度が高い

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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