『X線光電子分光（XPS）分析』

軟X線を照射！基板や回路等の定性・半定量分析にも最適な光電子分光分析！

『X線光電子分光（XPS）分析』は、試料表面に軟X線を照射し、発生する
光電子の結合エネルギーを測定します。
試料を構成している元素と組成（定性分析・半定量分析）、元素の化学状態
（状態分析）を調べることができます。

検出される情報は、試料の極表面層（数nm）のものであり、Ar イオンスパッタ
リングを組み合わせることで、深さ方向の測定を行うこともできます。
励起源が軟X線のため、導通がない試料の測定も可能です。

【適用対象】
■金属全般
■セラミックス
■半導体
■薄膜
■フィルム

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。