自転式スピンドライヤー

■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。
■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。
■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式で実績のある大宮工業独自の構造を採用。いつもクリーンな状態を維持します。
■オプションで自動バランス調整装置も取付可。枚数差やキャリアの重量差によって発生する振動をキャンセルします。
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