ウェーハ表層欠陥検査装置『MO-601HS』

オートローダによる完全自動計測！ウェーハ表層欠陥検査装置

『MO-601HS』は、ウェーハ全面の計測を可能とし、Siウェーハのデバイス
活性層である表層近傍の結晶欠陥を表面上の異物及び表面の荒さ、傷と識別
して検査できるウェーハ表層欠陥検査装置です。

ビュアー機能による欠陥の実画像による確認、並びにレーザマーキング機能
によるTEM観察での欠陥解析が可能。

また、当カタログはこの他にも『MO-441』も掲載されています。

【特長】
■オートローダによる完全自動計測
■200mm,300mmウェーハ対応
■高感度：200nmΦの欠陥を検出可能
■欠陥・異物・ヘイズの全面マップ計測機能
■計測条件を一定としたラスタースキャン方式

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。