株式会社三友製作所テクノセンタ
最終更新日：2017-05-25 14:37:38.0
ナノマニピュレーションステージ
基本情報ナノマニピュレーションステージ
多彩なバリエーション！ナノ領域を操るXYZ軸可動の小型ステージユニット
『ナノマニピュレーションステージ』は、電子顕微鏡の標準ステージ上へ容易に
搭載可能で、試料を観察しながらナノ領域の電気的な特性評価や超微細作業が
可能な、小型のステージユニットです。
位置決め精度の最小分解能が1nm以下を実現し、電子顕微鏡下での超精密作業に
申し分ない性能を有しております。
また、電子顕微鏡に本ユニットを複数搭載する事で、多軸化を図り様々な
用途にも対応する事が可能です。
【特長】
■XYZ軸可動の小型ステージユニット
■分解能が1nm以下
■SPPA搭載によるゼロバックラッシュの実現
■幅広いカスタム性
■多彩なバリエーション
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マニピュレータ製品 NanoManipulationStage
Nano Manipulation Stageは、粗微動一体の自社製アクチュエータ【SPPA】採用による、ゼロバックラッシュを実現した小型ステージユニットになります。電子顕微鏡の標準ステージ上へ容易に搭載可能で、試料を観察しながらナノ領域の電気的な特性評価や超微細作業が可能となります！
【特徴】
○分解能 １ｎｍ以下
・位置決め精度の最小分解能が1nm以下を実現しておりますので、
電子顕微鏡下での超精密作業に申し分ない性能を有しております。
○幅広いカスタム性・多彩なバリエーション
・電子顕微鏡に本ユニットを複数搭載する事で多軸化を図ることが可能となり、
様々な用途に対応が可能なユニットとなっております。
特殊仕様、カスタマイズにも対応致します！！
○粗微動一体のアクチュエータ【SPPA】採用によるゼロバックラッシュの実現
・SPPA（Super Precision Piezo Acutuator）とは、一つの圧電素子にて連続
ステップ動作（粗動）、圧電素子の直接動作（微動）が可能な画期的なアクチュエータです！！ （詳細を見る）
取扱会社 ナノマニピュレーションステージ
ナノマニピュレーションステージへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
