テルモセラ・ジャパン株式会社の会社ロゴ画像ですテルモセラ・ジャパン株式会社

最終更新日:2017-08-06 15:37:36.0

  • 製品カタログ
  •  

卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈

  • このカタログを
  • Twitterボタン

基本情報卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈

カタログ発行日:2017/08/06

狭いスペースに収まる卓上型。直感的で簡単なパネル操作で、高品質の薄膜成形を実現

当社は、限られたスペースに設置できる小型設計に加えて、
高品質の薄膜成形を可能にした『nanoPVDシリーズ』をラインアップしています。

その中でも「nanoPVD-T15A 卓上型 抵抗加熱式真空蒸着装置」は、
大型機にも劣らない膜質と、多数の機能を備えたフラッグシップ機です。

【特長】
■簡単なタッチパネル操作で、PLCの全自動制御が可能
■直感操作が可能なHMIと、高解像度7inch前面パネル
■USB接続で、ログの保存・自動成膜レシピの作成保存が可能

他にも「nanoPVD-S10A 卓上型マグネトロン スパッタリング装置」は、
3源カソード+O2&N2追加ガス2系統(MFC制御)、
RF/DC PSUの増設(最大2電源まで)、同時成膜といった機能が満載です。

※ただいま、上記2製品のカタログをまとめて進呈中です!
 ダウンロードしてご覧ください。

卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈

『nanoPVDシリーズ』は、材料研究・新素材開発・電子デバイス開発などの基礎実験・研究開発用に多目的にご使用いただける小型・高性能真空薄膜実験装置です。

nanoPVD-S10Aは、Ф2inchマグネトロンカードを最大3基搭載、基板回転・上下昇降・加熱500℃シャッターなどのオプションが充実、RF・DC電源両対応、最大3系統のガス入力(MFC制御)に対応。充実した基本性能と豊富なオプションで高品質の成膜が可能となります。

nanoPVD-T15Aは、抵抗加熱蒸着源を最大2基、有機蒸着源最大4基まで搭載し、金属膜・絶縁膜の多層膜、連続成膜が可能な基本性能に優れた蒸着装置です。

【特長】
■SUS304高真空チャンバー:真空到達度5x10-5Pascal
■PLC自動制御、11"タッチパネルによる直感的操作
■装置寸法:804(W)x530(D)x512(H)mm(*T15A寸法)

※上記2製品、及び【nano BenchTopシリーズダイジェストカタログ】【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】のカタログを進呈中です!ダウンロードしてご覧ください。 (詳細を見る

取扱会社 卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター(1〜12inch) 2. R&D用真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空用熱電対 6. 真空コンポーネント

卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

動機[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

テルモセラ・ジャパン株式会社

卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』※カタログ進呈 が登録されているカテゴリ

開く


  • iREX2017に出展します!「ロボット組立適合コネクタ」で自動実装の最適ソリューションを!
  • INCHEM TOKYO 2017 プラント補修・保全・長寿命化コーナー初出展

最近チェックした情報

クリップ

気になる製品・カタログ・企業などがあったらクリップに保存しておくと便利です。

  • キーマンインタビュー