FS-1040SPX(MD)

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基本情報FS-1040SPX(MD)

FS-1040SPX(MD)

1nm分解能をモータのみで実現した
フィードバックステージ

【特徴】
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：80mm×80mm
○テーブル移動量：40mm
○繰返し位置決め精度：±2nm
○走り平行度：10μm
○最小分解能：1nm
○最大移動速度：0.5mm/sec
○ボールネジ：φ6mm、リード1mm
○移動ガイド：クロスローラガイド
○駆動モータ：□28mm‐5相ステッピングモータ

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1040SPX(MD)
高速度タイプはFS-1040UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
（詳細を見る）

取扱会社 FS-1040SPX(MD)

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステムレーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

公式サイト

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