シグマ光機株式会社
最終更新日:2010-05-11 18:16:55.0
FS-1050SPX(MD)カタログ
基本情報FS-1050SPX(MD)カタログ
FS-1050SPX(MD)カタログ
1nm分解能をモータのみで実現した
フィードバックステージ
【特徴】
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ
リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:120mm×120mm
○テーブル移動量 :50mm
○繰返し位置決め精度:±2nm
○走り平行度:10μm
○最小分解能:1nm
○最大移動速度:0.5mm/sec
○ボールネジ:φ6mm、リード1mm
○移動ガイド:クロスローラガイド
○駆動モータ:□28mm-5相ステッピングモータ
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
高トルクタイプはFS-1050SPX(MD)
高速度タイプはFS-1050UPX
となっております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
(詳細を見る)
取扱会社 FS-1050SPX(MD)カタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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