シグマ光機株式会社
最終更新日:2015-09-24 15:42:52.0
FS-1020SPXカタログ
基本情報FS-1020SPXカタログ
FS-1020SPXカタログ
5nm分解能ステージコントローラFC-601Aに対応させた
20mmストロークのステージ
【特徴】
○独自開発したリニアスケールを内蔵していながら
薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により
高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:60mm×60mm
○テーブル移動量:20mm
○繰返し位置決め精度:±10nm
○走り平行度:10μm
○最小分解能:5nm
○最大移動速度:5mm/sec
○ボールネジ:φ4mm、リード1mm
○移動ガイド:クロスローラガイド
○駆動モータ:□28mm‐5相ステッピングモータ
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
取扱会社 FS-1020SPXカタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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