液体用フローコントローラ『インビューNT6510/NT6520』

『インビューNT6510/6520シリーズ』は、プロセス流量の変動を最小限に抑える、高精度な液体流量制御機器です。

実績のある差圧式流量計測技術により、気泡が含まれる薬液も確実に制御。
本体内部のバルブシートとダイアフラムはデッドボリュームおよび流体のせん断を最小限に抑え、プロセス汚染の可能性を低減します。

また、接液部には耐薬品性に優れたPTFEを、非接液部には耐腐食性に優れた不活性素材を使用しています。

【特長】
■高精度な液体流量制御
■耐薬品性に優れたデザイン
■二重のPTFEダイアフラム構造を採用
■コンパクトサイズ
■特許取得

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。

また好適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

【特長】
■清浄度の高い薬液を供給
■製品の歩留まりを向上
■経済的損失を減少

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードして下さい。

※「高純度薬液の供給」に関連する製品については、以下の「PDFダウンロード」から資料をダウンロードしてください。 （詳細を見る）