日本インテグリス合同会社
最終更新日:2021-04-27 15:04:11.0
ハイフローシリーズ PFA ライニング 空圧式バルブ
基本情報ハイフローシリーズ PFA ライニング 空圧式バルブ
大流量に対応可能!PFA ライニング 空圧式 ノーマリークローズバルブが登場
『ハイフローシリーズ 空圧式バルブ』は、高純度薬品向けの耐薬品性に優れたフランジー体型の
PFAライニングバルブです。
金属のコンタミネーションを嫌うプロセスに最適です。
さらに、オリフィスおよび接続配管径が大きく、大流量に対応可能です。
【特長】
■耐腐食性に優れた構成部材
■操作性に優れたデザイン
■JIS 10K フランジ 15A~50Aから選択が可能
■ISO9001、ISO14000 登録認定工場による製品
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
PFAライニング SUS製 ハイフロー『 EP 空圧式 バルブ』
『ハイフローシリーズ 空圧式 バルブ』は、高純度薬品向けの耐薬品性に優れたフランジー体型のPFAライニングバルブです。
金属のコンタミネーションを嫌うプロセスに最適です。
さらに、オリフィスおよび接続配管径が大きく、大流量に対応可能です。
【特長】
■耐腐食性に優れた構成部材
■操作性に優れたデザイン
■JIS 10K フランジ 15A~50Aから選択が可能
■ISO9001、ISO14000 登録認定工場による製品
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 ハイフローシリーズ PFA ライニング 空圧式バルブ
液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品:バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御/管理製品:ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。 表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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