薬液移送用 FluoroPure（フロロピュア）HDPEドラム

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。

また好適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

【特長】
■清浄度の高い薬液を供給
■製品の歩留まりを向上
■経済的損失を減少

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードして下さい。

※「高純度薬液の供給」に関連する製品については、以下の「PDFダウンロード」から資料をダウンロードしてください。 （詳細を見る）

インテグリスは、国連の容器等級(パッキンググループ)Ｉのカテゴリーに規定される薬液の搬送要件を満たすHDPE 1H1ドラムを開発しました。

このドラムは、厳格な同規格に準拠する製品です。多層ブロー成形技術を採用した構造で、高純度薬液向けの極めてクリーンな内層を実現。

内層の樹脂には、トライレイヤータイプとアドバンテージトライレイヤータイプがあります。

またキャップ類は洗浄済みで、クラス6のクリーンルームでドラムに組み付けています。

【特長】
■特許取得済みのクイックコネクトシステムSentry(セントリー)QCIIIおよびQCIIとの組み合わせで、国連規格に適合
■揮発性薬液にも対応可能な耐圧320 kPa
■低圧送液(140kPa)での使用にも認証済み
■上面および底面は独自のドーム形状で、低位置に設けたパン構造により残液量を最小化
■高いチャイムがポート部を保護し、加圧時のドラムのふらつきを防止

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）