各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および
研究開発向けに提供します。

主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、
エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。

また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、
横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。

【特長】
■生産設備・研究開発向けの高温処理炉
■半導体製造や太陽電池製造などに好適
■多様なラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。