超精密レーザー測長システム用光学部品　バーミラー

『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。
材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。

【特長】
○材質：クリアセラム、合成石英
○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超
○面精度：数μｍ～λ／１０

※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。 （詳細を見る）

当社は高度なガラス研磨加工を活かした光学部品を多数取り扱っております。
ステージ類の位置決めに有効なバーミラーや干渉計に組み込まれる高精度の偏光子をカスタマイズで製作可能です。
ご希望仕様に応じて一から製作する為1個からでも製作が可能で研磨および接合技術を活かした製品をご提供します。
バーミラーは小型のものから大型のものまで、材質は石英が主体ですが低膨張をご希望の際はクリアセラムなど超低膨張硝子セラミックでのご提案も致します。
偏光子につきましては、接着仕様だけではなくオプティカルコンタクトを用いた製品をご提供します。
オプティカルコンタクトの製品は光学的特性に優れるだけでなく、接着剤の膨張・収縮による影響がないため高精度な仕様を実現可能です。

7月中旬にHPをリニューアル予定です。
こちらも是非ご覧ください。 （詳細を見る）

〇当社は高度なガラス研磨加工を活かした光学部品を多数取り扱っております。
ステージ類の位置決めに有効なバーミラーや測定器に組み込まれる高精度の光学部品を製作可能です。

〇ご希望仕様に応じて一から製作する為1個からでも製作が可能ですし
オプティカルコンタクトを組み合わせることにより従来は実現できなかった複雑形状の製品等をご提案することも可能です。

〇バーミラーは小型のものから大型のものまで、材質は石英が主体ですが低膨張をご希望の際はクリアセラムなど超低膨張硝子セラミックでのご提案も致します。

〇偏光子につきましては、接着仕様だけではなくオプティカルコンタクトを用いた製品をご提供します。
オプティカルコンタクトの製品は接着剤を使用していないので接着層による吸収・散乱がなく、収縮や熱膨張もありませんので高精度かつ高品質な光学部品を製作することが出来ます。 （詳細を見る）