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最終更新日:2017/10/10

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超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

基本情報超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

主に露光装置のX・Yステージの測長に使用されております。

材料は高純度合成石英、クリアセラムZ等低熱膨張ガラスを使用しております。

超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー 製品画像

『バーミラー』は、主に露光装置のX・Yステージの測長に使用されております。
バーミラーの加工精度がX・Yステージの性能に大きな影響を与えます。
材料は高純度合成石英、クリアセラムZ等低熱膨張ガラスを使用しております。

【特長】
○材質:クリアセラム、合成石英
○L寸法:100mm~800mm超
○面精度:数μm~λ/10

※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。 (詳細を見る

取扱会社 超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

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・光学硝子部品の製造および販売 ・光学硝子および光学結晶の研磨/穴あけ/接合加工 ・光学アッセンブリー 社内設備品 <加工設備> 平面研削盤、円筒研削盤、自動芯取機、スライシングマシーン、ダライ盤、ビューラー、オスカー研磨機、電気炉、恒温恒湿槽 <検査設備> Zygo社製干渉計、オートコリメーター、三次元測定器、マイクロスコープ、クリーンベンチ

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