高周波電源『T857シリーズ』

高信頼設計の高性能高周波電源

『T857シリーズ』は、オール・ソリッドステート・タイプの
高性能高周波電源です。

プラズマ・エッチング、RIE、プラズマCVD、RFスパッタリング等の
各種プラズマ処理に適します。

また、当シリーズの出力インピーダンスは公称50Ωですが、各種保護回路
により広範囲な負荷及びショート，オープン等の過酷な運用にも
対応できます。

【特長】
■強力なファンによる強制空冷
■高許容反射電力
■リニアライズされたパワーメーターとモニタ出力
■リニアな出力制御

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。