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最終更新日:2014/12/15

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パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

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基本情報パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

通常のDC電源がパルス電源へ機能アップ、DC出力をパルス出力に変換します。

SPIKはパルスのオン/オフ時間を個別に広い範囲で設定できます。単極パルスまたは双極パルスの選択と併せ、パルスのオン/オフ時間を適正化する事で、アークの発生を予防し、より大きな電力で安定した運転が可能になり、成膜レートと品質を向上します。

SPIKは大容量のコンデンサを内蔵しており、DC電源の出力電流の最大約10倍に達する大きなピークパルス電流を、プラズマ負荷に供給する能力があります。この増大された電流がプラズマを高密度化し、成膜レートを加速します。

【特長】
○最高繰り返し周波数50KHz
○高密度プラズマの実現
○オンタイム、オフタイムを個別に設定可能
○2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション
○通常のDC電源をパルス電源へとアップグレード
→2台のDC電源を使った高電力非対称バイポーラパルス出力
→1台のDC電源を使った高電力対称バイポーラ/ユニポーラパルス出力
○出力動作モード:正電圧DC、負電圧DC、正電圧単極パルス、
 負電圧単極パルス、対称双極パルス、非対称双極パルス

パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

SPIKパルスDCパワーコントローラの製品画像です

特許申請済の最新パルステクノロジーを駆使したパルスDCパワーコントローラです。

【特長】
○最高繰り返し周波数50KHz
○高密度プラズマの実現
○オンタイム、オフタイムを個別に設定可能
○2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション
○通常のDC電源をパルス電源へとアップグレード
→2台のDC電源を使った高電力非対称バイポーラパルス出力
→1台のDC電源を使った高電力対称バイポーラ/ユニポーラパルス出力
○出力動作モード:正電圧DC、負電圧DC、正電圧単極パルス、
 負電圧単極パルス、対称双極パルス、非対称双極パルス

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る

取扱会社 パルスDCパワーコントローラ SPIKシリーズ

アステック株式会社

【東京本社】 応用科学事業部 TEL:03-3366-0811 科学計測事業部 TEL:03-3366-0818 電子応用事業部 TEL:03-3366-0813 半 導 体事業部 TEL:03-3367-8921 【大阪営業所】TEL06-6375-5852

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