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最終更新日:2016/07/26

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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

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基本情報減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

ピエゾバルブ採用
減圧・常圧プロセス用気化器

【特徴】
○液体マスフローメータLM-2102P/LM-2202Pとの組合せにより、
  各種液体材料(TEOS、TEB、TEPO、etc)を精密流量制御する
  と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206の製品画像です

液体マスフローメータLM-2000Pシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 (詳細を見る

価格帯 お問い合わせください 納期 1ヶ月以内

取扱会社 減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

株式会社リンテック

気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作

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