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最終更新日:2020-05-12 14:56:56.0

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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series

基本情報減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
  各種液体材料(TEOS、TEB、TEPO、etc)を精密流量制御する
  と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series

減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series 製品画像

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。

【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
  各種液体材料(TEOS、TEB、TEPO、etc)を精密流量制御する
  と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る

取扱会社 減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series

株式会社リンテック 東京営業所

気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作

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