『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を
高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。

マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の
ターゲット材が選択できます。

さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な
移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。

【特長】
■多種類のターゲット材が選択可能
■正確な膜厚コントロール
■多試料ステージの移動機構
■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ
■操作真空度の広い調整範囲
■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。